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 设备参数

 设备联系人

• 制造商：VEECO
• 主要参数：
  腔室内径：1060 mm
  沉积方式：双离子束溅射沉积
  最大元件尺寸：Ф140 mm
• 功能：
  制备各类型紫外至近红外光学薄膜(反射镜、增透膜、分光镜、偏振片，滤光膜等)

• 制造商：VEECO
• 主要参数：
  腔室内径：1360 mm
  沉积方式：双离子束溅射沉积
  最大元件尺寸：Ф380 mm
• 功能：
  制备各类型紫外至近红外光学薄膜(反射镜、增透膜、分光镜、偏振片，滤光膜等)